Gasni sistem opreme za jetkanje

Korak jetkanja zahtijeva upotrebu raznih plinova za jetkanje, koji su također poznati kao procesni mediji u procesu reakcije. Gasni sistem opreme za jetkanje odgovoran je za transport procesnog medija od izvora gasa do unutrašnjosti reakcione komore, koja se uglavnom sastoji od gasne kutije (Gasbox), ploče za homogenizaciju (Gaspanel), merača protoka (MFC) i cjevovod.

Funkcija plinske kutije je da podesi tlak plinovitog procesnog medija iz izvora plina (specijalne plinske boce ili plinovoda wafer fab-a) kroz razne kontrolne ventile, a zatim ga uvede u plinovodni cjevovod oprema za graviranje. Budući da je većina plinova koji se koriste u proizvodnji integriranih kola opasna, kako bi se osigurala sigurnost, kućište kutije plinskog kruga obično je obloženo antikorozivnim sredstvom, a postavljen je vanjski prozor za promatranje, a iznutra je također u stanju negativnog pritiska. Osim toga, plinska kutija je opremljena raznim sistemima za nadzor, koji odmah prekidaju dovod plina i alarmiraju kada se otkrije curenje plina. Gaspanel je jedna od ključnih komponenti gasnog sistema, a takođe je i poluprovodnički metalni deo koji je teško obraditi. Homogenizirajući disk se obično sastoji od četiri sloja metalnih diskova, od kojih svaki ima mnogo malih rupa i složenih i malih zračnih puteva. Nakon što se gas za jetkanje podesi u kutiji za put gasa, on ulazi u cevovod, a zatim prolazi kroz tacnu za homogenizaciju i konačno se transportuje u reakcionu komoru stabilnom i ravnomernom brzinom. Disk za homogenizaciju treba da ima karakteristike otpornosti na visoke temperature, niskog zagađenja česticama i otpornosti na koroziju, a za zavarivanje višeslojnih metalnih diskova potrebno je koristiti posebne metode kako bi se sprečilo unutrašnje curenje. Budući da je disk za homogenizaciju povezan sa osnovnim korakom usisavanja vazduha kod jetkanja, neke kompanije za opremu odlučuju da sarađuju sa preduzećima za preciznu obradu metala na razvoju i proizvodnji diskova za homogenizaciju; Osim toga, Fujikin ventili u Japanu su također važni proizvođači uniformnih diskova.

Oprema za jetkanje koristi mjerač masenog protoka (MFC) za praćenje i kontrolu brzine kojom plinovi za jetkanje ulaze u reakcionu komoru. Budući da je brzina unosa zraka povezana sa stabilnošću reakcije jetkanja, oprema za jetkanje ima visoke zahtjeve za raspon protoka, preciznost kontrole i vrijeme odziva mjernog masenog protoka stabilnosti protoka. Mjerači protoka se mogu podijeliti na tip analognog kruga, tip digitalnog kola i tip kompenzacije promjene tlaka. Mjerač protoka za kompenzaciju promjene tlaka može automatski kompenzirati fluktuaciju tlaka izvora plina kako bi osigurao stabilan protok izlaznog plina u reakcionu komoru. Glavni proizvođač mjerača masenog protoka je Horiba u Japanu.